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原文传递 基板缓存装置
专利名称: 基板缓存装置
摘要: 本发明提供一种基板缓存装置,包括箱体、及位于箱体内的上、下承载台和隔板,所述上、下承载台均可在箱体内独立旋转,从而可保证基板的制程方向,所述箱体的上壁上设有风机滤器单元,所述隔板和箱体的下壁上分别设有第一、第二通风孔,从而使上、下承载台的环境处于空气流通的状态,保证基板缓存装置内部环境清洁;该基板缓存装置,用于显示装置的生产产线中,可以提高显示装置的生产产能、节约制程时间和异常处理时间。
专利类型: 发明
国家地区组织代码: 湖北;42
申请人: 武汉华星光电技术有限公司
发明人: 朱海燕;陆建红
专利状态: 有效
申请日期: 2016-01-04T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201610003302.3
公开号: CN105600446A
代理机构: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人: 林才桂
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
主权项: 一种基板缓存装置,其特征在于,包括箱体(10)、位于箱体(10)内的上承载台(20)、位于箱体(10)内且位于上承载台(20)下方的下承载台(30)、及固定于所述箱体(10)上且位于所述上、下承载台(20、30)之间的隔板(40);所述箱体(10)的前后分别设有开口部(100),所述箱体(10)包括上壁(11)、下壁(12)、左侧壁(13)及右侧壁(14);所述上、下承载台(20、30)下方分别设置有第一、二旋转轴(50、60),所述上、下承载台(20、30)可分别绕所述第一、二旋转轴(50、60)于水平面内在所述箱体(10)内部独立旋转;所述基板缓存装置放置于机台的机械手附近,从而在必要时可通过机械手将机台中的基板经由面向该机台的开口部(100)放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上;或通过机台的机械手将已放置到上、下承载台(20、30)上的基板取出放回该机台中;或将基板放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上之后,使所述上、下承载台(20、30)水平旋转180°,再通过相邻另一机台的机械手经由面向该另一机台的开口部(100)将基板转移。
所属类别: 发明专利
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