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一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器
| 专利名称： | 一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器 |
| 摘要： | 本发明涉及光学领域和微纳系统领域，具体为一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器。当外界湿度发生变化时，相对湿度的变化使得微球型谐振腔与锥形光纤之间耦合区域的水分子的数量发生变化，导致了耦合区域的折射率发生变化，微球腔的谐振波长会由于折射率及尺寸的变化而产生偏移，从而可以通过对谐振波长漂移量的检测来确定外界环境的相对湿度。然后借助一个石英玻璃管、两片石英玻璃及紫外光固胶，在不改变己经调谐好的耦合状态的前提下完成器件的封装。本发明与传统的湿度传感器相比，应用光纤制作，具有体积小、不受电磁干扰、抗腐蚀、具有非常高的灵敏度及测量精度、使用寿命长、稳定性好、响应速度快等一系列特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山西;14 |
| 申请人： | 中北大学 |
| 发明人： | 闫树斌;王梦梦;张勐;王一飞;赵学峰;张彦军;薛晨阳;张文栋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810129416.1 |
| 公开号： | CN108548795A |
| 代理机构： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 |
| 代理人： | 朱源 |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01)I;G02B6/255(2006.01)I;G;G01;G02;G01N;G02B;G01N21;G02B6;G01N21/41;G02B6/255 |
| 申请人地址： | 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |
| 主权项： | 1.一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器，其特征在于包括微球腔和锥形光纤，微球腔和锥形光纤耦合封装后形成湿度传感器。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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