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一种基于电磁法测量气膜间隙内气体密度的装置
| 专利名称： | 一种基于电磁法测量气膜间隙内气体密度的装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种基于电磁法测量气膜间隙内气体密度的装置，属于精密设备性能检测领域。本实用新型包括传感器支架、大理石水平隔振平台、主动空气静压轴承、微位移传感器、电磁线圈、压缩弹簧、随动空气静压轴承、节流阀、空气静压轴承进气管、压力调节阀、压力表、空气压缩机。本实用新型装置简单，只需要额外添加微位移传感器、电容测量仪以及微力传感器；模型简化，容易理解，数据处理量小，简单方便；可以灵活快速地调节空气静压轴承的气膜间隙，可通过在轴承中增加电磁加载装置，施加一个作用力在空气静压主轴承上，实现调节空气静压轴承气膜间隙的功能，通过公式计算气膜间隙变化，从而计算出气膜间隙内气体密度，可通过多次测试将气膜间隙内气体密度测量出来，可靠性高且易于实现；仪器应用普遍，成本低。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 云南;53 |
| 申请人： | 昆明理工大学 |
| 发明人： | 史朝阳;秦开大 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820009787.1 |
| 公开号： | CN207894771U |
| 分类号： | G01N9/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N9;G01N9/00 |
| 申请人地址： | 650093 云南省昆明市五华区学府路253号 |
| 主权项： | 1.一种基于电磁法测量气膜间隙内气体密度的装置，其特征在于：包括传感器支架（1）、大理石水平隔振平台（2）、主动空气静压轴承（3）、微位移传感器（4）、电磁线圈（5）、压缩弹簧（6）、随动空气静压轴承（7）、空气压缩机（12）；主动空气静压轴承（3）放置在大理石水平隔震平台（2）上，微位移传感器（4）竖直放置于主动空气静压轴承（3）上，通过传感器支架（1）对微位移传感器（4）进行固定，传感器支架（1）的另一端固定在大理石水平隔振平台（2）上；随动空气静压轴承（7）位于主动空气静压轴承（3）的正上方，二者相对安装，主动空气静压轴承（3）和随动空气静压轴承（7）通过压缩弹簧（6）连接，并对压缩弹簧（6）施加预紧力；主动空气静压轴承（3）和随动空气静压轴承（7）的四个角上均装有电磁线圈（5）,随动空气静压轴承（7）和主动空气静压轴承（3）上的电磁线圈（5）上、下位置相对放置，主动空气静压轴承（3）和随动空气静压轴承（7）内部均设有空气静压轴承进气管（9），两个空气静压轴承进气管（9）均与空气压缩机（12）连通，主动空气静压轴承（3）和随动空气静压轴承（7）上分别设有一个压力传感器，压力传感器位于主动空气静压轴承（3）和随动空气静压轴承（7）与压缩弹簧（6）的连接处。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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