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原文传递 一种膜表面缺陷检测装置
专利名称: 一种膜表面缺陷检测装置
摘要: 本实用新型公开了一种膜表面缺陷检测装置,所述装置包括:暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机;其中,成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方,成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间;亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧,全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。本实用新型通过对缺陷的严重程度的判断,实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别,提高对不良品的检出效果,提高产品的质量。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 中导光电设备股份有限公司
发明人: 张梁;董玉静;李波;温晔;陈维华
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201721045488.5
公开号: CN207215722U
代理机构: 广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 44448
代理人: 赵晓慧
分类号: G01N21/88(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/95
申请人地址: 526238 广东省肇庆市高新区同富裕工业园C栋首、二层和B栋首层
主权项: 一种膜表面缺陷检测装置,其特征在于:所述装置包括:暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机;其中,成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方,成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间;亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧,全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。
所属类别: 实用新型
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