专利名称: |
一种膜表面缺陷检测装置 |
摘要: |
本实用新型公开了一种膜表面缺陷检测装置,所述装置包括:暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机;其中,成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方,成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间;亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧,全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。本实用新型通过对缺陷的严重程度的判断,实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别,提高对不良品的检出效果,提高产品的质量。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
中导光电设备股份有限公司 |
发明人: |
张梁;董玉静;李波;温晔;陈维华 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201721045488.5 |
公开号: |
CN207215722U |
代理机构: |
广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 44448 |
代理人: |
赵晓慧 |
分类号: |
G01N21/88(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/95 |
申请人地址: |
526238 广东省肇庆市高新区同富裕工业园C栋首、二层和B栋首层 |
主权项: |
一种膜表面缺陷检测装置,其特征在于:所述装置包括:暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机;其中,成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方,成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间;亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧,全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。 |
所属类别: |
实用新型 |