详情

原文传递 X-CT系统用测量夹具

专利名称：	X-CT系统用测量夹具
摘要：	本发明公开了一种X‑CT系统用测量夹具，属于测试夹具领域。所述测量夹具包括：样品台，底面设置与扫描转台匹配的定位凹台；载片柱，下部与所述样品台固定连接，且所述载片柱的旋转轴与所述样品台的旋转轴平行，中部为柱体，上部为设置在所述柱体顶面上、与所述柱体成一体结构的透明薄板；胶片，用于粘结待测器件，设置在所述透明薄板的表面。上述技术方案中，透明薄板不会相对样品台产生相对位移，进而微小器件也不会发生位移，测量结果准确、可靠，同时透明薄板减小了对X射线的衰减，实现了用X‑CT高准确度地测量微小器件的结构，填补了微小器件测试夹具的空白。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	中国电子科技集团公司第十三研究所
发明人：	荆晓冬;梁法国;郑世棋;吴爱华;翟玉卫;王一帮;刘晨;乔玉娥
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201711203341.9
公开号：	CN108051456A
代理机构：	石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人：	张二群
分类号：	G01N23/04(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/04
申请人地址：	050000 河北省石家庄市合作路113号
主权项：	一种X‑CT系统用测量夹具，其特征在于，包括：样品台，底面设置与扫描转台匹配的定位凹台；载片柱，下部与所述样品台固定连接，且所述载片柱的旋转轴与所述样品台的旋转轴平行，中部为柱体，上部为设置在所述柱体顶面上、与所述柱体成一体结构的透明薄板；胶片，用于粘结待测器件，设置在所述透明薄板的表面。
所属类别：	发明专利