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原文传递一种石墨烯等离激元气体传感器

专利名称：	一种石墨烯等离激元气体传感器
摘要：	本发明公开了一种石墨烯等离激元气体传感器，所述传感器自下而上依次包括基底，电介质层，石墨烯层，微腔，和盖板。其中在所述盖板分别设置与微腔连通的进样通道和出样通道，本发明石墨烯层上方是气体微腔，石墨烯等离激元可与气体分子相互作用，从而获得等离激元增强的气体红外光谱，实现气体种类的指认，同时本发明可以探测极微量的气体分子，其等离激元波长在中红外波段(共振频率400‑3000波数)，所述传感器可重复使用、可集成。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	国家纳米科学中心
发明人：	戴庆;杨晓霞;胡海;郭相东;胡德波
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810644987.9
公开号：	CN108593585A
代理机构：	北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416
代理人：	庞立岩;顾珊
分类号：	G01N21/3504(2014.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/3504
申请人地址：	100190 北京市海淀区中关村北一条11号
主权项：	1.一种石墨烯等离激元气体传感器，包括盖板和石墨烯等离激元器件，其中所述石墨烯等离激元器件，自下而上依次包括基底，电介质层，石墨烯层，微腔，其中所述石墨烯层两端分别设置为金属电极；其中在所述盖板分别设置与微腔连通的进样通道和出样通道；所述石墨烯层为周期性纳米结构，所述周期性纳米结构包含多个连续纵剖面为台阶状的结构；所述盖板置于所述石墨烯等离激元器件上方。
所属类别：	发明专利