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使用静态条纹图案的干涉法滚降测量
| 专利名称： | 使用静态条纹图案的干涉法滚降测量 |
| 摘要： | 一种用于测量基材(10)的目标区域的表面轮廓的设备(20)，所述设备(20)具有光源(22)以发射测量光束。分束元件(74)限定测量轴(OM)和参照轴(OR)。基材固定器(76)沿着测量轴设置目标区域，且使所述目标区域绕着与测量轴正交相交的倾斜轴(T)按照预定的倾斜角度(Tθ)偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度(Tθ)随测量光束波长而变化。成像传感器(40)记录由测量光束和参照光束产生的条纹图案。计算机从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在正交于倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编程的指令进一步根据频率分布来计算目标区域表面的轮廓变化。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 美国;US |
| 申请人： | 康宁股份有限公司 |
| 发明人： | A·T·比恩;T·J·邓恩;C·A·李;M·J·特罗诺洛恩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201680039323.9 |
| 公开号： | CN107850555A |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 |
| 代理人： | 高宏伟;江磊 |
| 分类号： | G01N21/95(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G;G01;G01N;G01B;G01N21;G01B11;G01N21/95;G01B11/24 |
| 申请人地址： | 美国纽约州 |
| 主权项： | 一种用于测量基材目标区域的表面轮廓的设备，所述设备包括：光源，所述光源能够激发以发射测量光束；分束元件，所述分束元件限定测量轴和参照轴；基材固定器，所述基材固定器沿着所述测量轴设置所述基材目标区域，且使所述基材目标区域绕着与所述测量轴正交相交的倾斜轴按照预定的倾斜角度偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度随测量光束波长而变化；成像传感器，所述成像传感器能够激发以记录所述目标区域的条纹图案，所述条纹图案由测量光束和来自所述参照轴的参照光束产生；以及计算机，所述计算机与所述成像传感器信号通信，且利用指令进行了编程，以从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在基本上正交于所述倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编程的指令进一步根据所述频率分布来计算所述目标区域表面的轮廓变化。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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