详情

原文传递换液监控装置

专利名称：	换液监控装置
摘要：	本发明提供一种换液监控装置，通过在蚀刻机台的药液循环管路上设置取样管和电化学工作站，通过取样管对药液进行取样，通过电化学工作站对药液进行电化学分析，得出所述药液的离子浓度范围，从而根据所述药液的粒子浓度范围判断是否需要换液，准确把控换液节点，避免药液浪费或产品制程异常。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电技术有限公司
发明人：	徐元权
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810402218.8
公开号：	CN108614027A
代理机构：	深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：	林才桂;王中华
分类号：	G01N27/48(2006.01)I;G01N27/26(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/48;G01N27/26
申请人地址：	430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
主权项：	1.一种换液监控装置，用于与蚀刻机台的药液箱(1)相连，其特征在于，包括：第一开关阀(10)、第二开关阀(20)、第三开关阀(30)、第四开关阀(40)、第五开关阀(50)、取样管(60)、稀释部(70)、电化学工作站(80)、计量泵(90)、分析单元(100)及第六开关阀(130)；所述药液箱(1)上设有药液出口(11)、第一药液入口(12)及第二药液入口(13)，所述稀释部(70)上设有第一输入口(71)、第二输入口(72)及输出口(73)；所述第一开关阀(10)的第一端口与所述药液出口(11)相连，第二端口与所述第二开关阀(20)的第一端口及所述第一药液入口(12)相连；所述第二开关阀(20)的第二端口与所述第四开关阀(40)的第一端口及取样管(60)的第一端相连；所述第三开关阀(30)的第一端口接入洁净干燥的空气，第二端口与所述取样管(60)的第二端及第五开关阀(50)的第一端口相连；所述第四开关阀(40)的第二端口与所述稀释部(70)的第一输入口(71)相连；所述第五开关阀(50)的第二端口与所述第二药液入口(13)相连；所述第六开关阀(130)的第一端口接入去离子水，第二端口与所述计量泵(90)的输入端相连；所述电化学工作站(80)与所述稀释部(70)的输出口(73)相连；所述计量泵(90)的输出端与稀释部(70)的第二输入口(72)相连；所述分析单元(100)与所述电化学工作站(80)电性连接；所述电化学工作站(80)用于从所述稀释部(70)获取稀释后的药液，并对所述稀释后的药液进行电化学测试，得到测试数据并传输给分析单元(100)；所述分析单元(100)用于根据所述测试数据确定稀释后的药液的离子浓度范围是否超标。
所属类别：	发明专利