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原文传递一种损伤监测装置及系统

专利名称：	一种损伤监测装置及系统
摘要：	本发明公开了一种损伤监测装置及系统，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
发明人：	白玉庭
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810149793.1
公开号：	CN108362771A
代理机构：	北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：	郭润湘
分类号：	G01N27/90(2006.01)I;G01N29/09(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N29;G01N27/90;G01N29/09
申请人地址：	100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
主权项：	1.一种损伤监测装置，其特征在于，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。
所属类别：	发明专利