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原文传递微型热导检测器

专利名称：	微型热导检测器
摘要：	一种微型热导检测器，包括基底、设置在基底上的热导池以及设置在热导池中的热敏电阻。热导池包括第一气流通道和第二气流通道，热敏电阻包括设置在第一气流通道中的相同的第一热敏电阻和第二热敏电阻以及设置在第二气流通道中的相同的第三热敏电阻和第四热敏电阻，第一热敏电阻和第二热敏电阻并行设置，第三热敏电阻和第四热敏电阻并行设置。本发明提供的微型热导检测器为一池双敏结构，每一个气流通道内的两个热敏电阻都是并行设置于同一热导池，消除了工艺带来热敏电阻阻值的不一致性，提高了微型热导检测器的灵敏度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院电子学研究所
发明人：	孙建海;薛宁;刘春秀;马天军
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810750496.2
公开号：	CN108918743A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：	张成新
分类号：	G01N30/66(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/66
申请人地址：	100190 北京市海淀区北四环西路19号
主权项：	1.一种微型热导检测器，包括：基底；热导池，所述热导池设置在所述基底上；以及热敏电阻，所述热敏电阻设置在所述热导池中，其特征在于，所述热导池包括第一气流通道和第二气流通道，所述热敏电阻包括设置在所述第一气流通道中的相同的第一热敏电阻和第二热敏电阻以及设置在所述第二气流通道中的相同的第三热敏电阻和第四热敏电阻，所述第一热敏电阻和所述第二热敏电阻并行设置，所述第三热敏电阻和所述第四热敏电阻并行设置。
所属类别：	发明专利