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原文传递一种悬浮式真空升降平台

专利名称：	一种悬浮式真空升降平台
摘要：	本实用新型提供了一种悬浮式真空升降平台，其包括真空腔体、顶升腔体、真空平台、固定底板、升降构件、升降驱动组件和密封构件，所述升降构件的一端与真空平台的底部连接，所述升降构件的另一端穿过顶升腔体的底部与升降驱动组件连接，所述升降构件通过密封构件与顶升腔体连接；所述顶升腔体的底部通过弹性构件与固定底板连接，所述升降驱动组件与固定底板连接。采用本实用新型的技术方案，通过采用密封装置与顶升腔体底部进行柔性连接，在进行抽真空时，顶升腔体变形或晃动不影响真空平台，确保平台稳定升降，在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动；简化了真空腔体平面度加工精度要求，提高了真空腔体的可靠性能和使用寿命。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳连硕自动化科技有限公司
发明人：	杨娅;谈万华;张智;曾繁春;刘丽梅
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201720594522.8
公开号：	CN207030835U
代理机构：	深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451
代理人：	黎健任
分类号：	B66F7/06(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I;B;B66;B66F;B66F7;B66F7/06;B66F7/28
申请人地址：	518000 广东省深圳市宝安区松岗街道楼岗大道1号301、401
主权项：	一种悬浮式真空升降平台，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其特征在于：其还包括固定底板、升降构件、升降驱动组件和密封构件，所述升降构件的一端与真空平台的底部连接，所述升降构件的另一端穿过顶升腔体的底部与升降驱动组件连接，所述升降构件通过密封构件与顶升腔体连接；所述顶升腔体的底部通过弹性构件与固定底板连接，所述升降驱动组件与固定底板连接。
所属类别：	实用新型