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一种WS2气凝胶气体传感器的制备方法
| 专利名称： | 一种WS2气凝胶气体传感器的制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种WS2气凝胶气体传感器的制备方法，本发明首先制备WS2气凝胶，接着制备WS2气凝胶异丙醇悬浮液，再采用引线键合技术，将传感器芯片通过电路连线到封装基板上；最后将WS2气凝胶沉积到传感电极之间，并且确保敏感材料WS2气凝胶与传感电极之间为欧姆接触，制作成WS2气凝胶气体传感器。本发明中WS2气凝胶气敏传感器功耗较低，在无氧环境中对NO2的选择性探测和响应/恢复特性良好。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 杭州电子科技大学 |
| 发明人： | 闫文君 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810613708.2 |
| 公开号： | CN108931556A |
| 代理机构： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 |
| 代理人： | 朱月芬 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00 |
| 申请人地址： | 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街 |
| 主权项： | 1.一种WS2气凝胶气体传感器的制备方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：步骤一：WS2气凝胶的制备将(NH4)2(WS4)溶于去离子水中，然后将该溶液置于液态氮中冻结，将冻结的溶液置于真空中干燥即得到(NH4)2(WS4)气凝胶；将(NH4)2(WS4)气凝胶置于管式炉中，在H2/Ar混合气氛中高温700－750℃热处理2‑4h即得到WS2气凝胶；步骤二：WS2气凝胶异丙醇悬浮液的制备；将WS2气凝胶以分散于异丙醇水溶液中，超声振荡至气凝胶在异丙醇水溶液中分散均匀，得到质量浓度为0.5mg/ml的WS2气凝胶异丙醇悬浮液；其中异丙醇水溶液中异丙醇与水的体积比为1：8‑1：10；步骤三：采用引线键合技术，将传感器芯片通过电路连线到封装基板上；步骤四：通过传感器芯片的加热电极将传感电极区域加热到80℃以上，采用滴涂法将WS2气凝胶沉积到传感电极之间，令WS2气凝胶连接两个传感电极，同时避免覆盖加热电极；加热2－3h使溶剂彻底挥发，并且确保敏感材料WS2气凝胶与传感电极之间为欧姆接触，制作成WS2气凝胶气体传感器。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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