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防止传送轮交叉污染的硅片传送装置
| 专利名称： | 防止传送轮交叉污染的硅片传送装置 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种防止传送轮交叉污染的硅片传送装置，包括安装在机架上相互平行的辊轮轴和压轮轴，辊轮轴上固定有实心辊轮，压轮轴上间距安装有若干个与实心辊轮同步旋转的压轮，所述的压轮与压轮轴间隙配合且轴向限位，所述实心辊轮和压轮的外周面均具有V形齿，所述压轮V形齿的齿尖对应于实心辊轮V形齿的齿槽。本实用新型通过对压轮与实心辊轮上下组合的改进，使得压轮与实心辊轮在不传送硅片时无接触，减少了磨损，即使硅片的一侧有药水污染，这种结构也不会让压轮与实心辊轮之间产生交叉污染，从而有助于提高硅片的优良率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 发明人： | 吴佳俊;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820097204.5 |
| 公开号： | CN207774325U |
| 代理机构： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 |
| 代理人： | 王美华 |
| 分类号： | B65G49/07(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/07 |
| 申请人地址： | 213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号 |
| 主权项： | 1.一种防止传送轮交叉污染的硅片传送装置，包括安装在机架上相互平行的辊轮轴(1)和压轮轴(2)，辊轮轴(1)上固定有实心辊轮(3)，压轮轴(2)上间距安装有若干个与实心辊轮(3)同步旋转的压轮(4)，其特征是：所述的压轮(4)与压轮轴(2)间隙配合且轴向限位，所述实心辊轮(3)和压轮(4)的外周面均具有V形齿(5)，所述压轮(4)的V形齿(5)的齿尖对应于实心辊轮(3)的V形齿(5)的齿槽。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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