专利名称: |
SF6/CF4混合气体放电装置及分解产物检测方法 |
摘要: |
一种SF6/CF4混合气体放电装置及分解产物检测方法,属于气体检测领域。该SF6/CF4混合气体放电装置,包括高压电源产生单元、SF6/CF4混合气体放电单元、SF6/CF4混合气体充气单元和气质联用检测单元;该SF6/CF4混合气体的分解产物检测方法为:调节装置,抽真空,向放电腔充气;对放电腔施加电压,当放电腔中的正电极和负电极间隙击穿时,记录此时的混合比、电压值、电流值、放电持续时间,停止供电,一部分分解产物气体进入GC‑MS检测单元中检测,检测数据通过GC‑MS工作站进行分析。该装置简单、正负极距离可调,其是能实现从产生电弧从而使SF6/CF4混合气体发生分解,进而检测的集成装置,该方法具有灵敏度高、分析效果高、定量准确等优点。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
辽宁;21 |
申请人: |
沈阳工业大学 |
发明人: |
林莘;庚振新;孙广雷;徐建源;夏亚龙;张佳;刘振祥;宋宇;朱莹 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810551589.2 |
公开号: |
CN108956806A |
代理机构: |
沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 |
代理人: |
马海芳 |
分类号: |
G01N30/02(2006.01)I;G01N30/72(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/02;G01N30/72 |
申请人地址: |
110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号 |
主权项: |
1.一种SF6/CF4混合气体放电装置,其特征在于,该SF6/CF4混合气体放电装置包括高压电源产生单元、SF6/CF4混合气体放电单元、SF6/CF4混合气体充气单元和气质联用检测单元;所述的高压电源产生单元包括工频交流电源、调压器、变压器、第一电阻、整流二极管和电容;所述的工频交流电源连接调压器,调压器连接变压器的原线圈,变压器的副线圈一端依次连接第一电阻、整流二极管正极,整流二极管负极和电容一端连接后作为高压电源产生单元的正输出端,变压器的副线圈的另外一端作为高压电源产生单元的负输出端;在高压电源产生单元的正输出端和负输出端之间设置连接有电容;所述的SF6/CF4混合气体放电单元包括阻容分压器、放电腔、第一开关、第二开关和示波器;阻容分压器分为高压端、低压端和接地端,阻容分压器的高压端通过第一开关连接高压电源产生单元的正输出端,阻容分压器的低压端连接示波器,阻容分压器的接地端接地;同时,阻容分压器的低压端和高压电源产生单元的负输出端连接;SF6/CF4混合气体放电单元的放电腔中设置有正电极和负电极,正电极和负电极的垂直距离在5‑20mm,并可调,正电极通过第二开关和高压电源产生单元的正输出端连接,负电极和高压电源产生单元的负输出端连接;所述的SF6/CF4混合气体充气单元包括真空泵、气阀、储气罐和气瓶;所述的真空泵一端通过第一个三通阀连接放电腔的一端,真空泵的另一端通过气阀和储气罐出气口相连,储气罐的进气口连接气瓶,气瓶设置有两个,分别为SF6气瓶和CF4气瓶;所述的气质联用检测单元包括GC‑MS检测单元和和GC‑MS工作站;其中,GC‑MS检测单元一端通过第二个三通阀和第一个三通阀连接至放电腔,GC‑MS检测单元另一端连接GC‑MS工作站,GC‑MS工作站将GC‑MS检测单元监测的数据信号进行处理,得到检测数据。 |
所属类别: |
发明专利 |