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用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置
| 专利名称： | 用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置 |
| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，公开了一种用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置，其包括激光器、扩束镜、散斑产生装置、剪切干涉装置和电荷藕合器件图像传感器，所述激光器出射的激光经所述扩束镜扩束后照射到所述散斑产生装置，经所述散斑产生装置形成散斑后入射到被测物体的光滑表面，携带所述被测物体的表面信息的散斑经过所述剪切干涉装置照射到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上，以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成散斑干涉图，其中，所述散斑产生装置包括若干块毛玻璃，所述毛玻璃的粗糙面面向所述扩束镜。该检测装置不改变被测物体表面性质、激光利用率高，且对激光器的要求低。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 合肥工业大学 |
| 发明人： | 王永红;孙方圆;闫佩正;钟诗民;陈维杰;赵琪涵 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810231943.3 |
| 公开号： | CN108489987A |
| 代理机构： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
| 代理人： | 王莹;余罡 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/01 |
| 申请人地址： | 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号 |
| 主权项： | 1.一种用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置，其特征在于，包括激光器、扩束镜、散斑产生装置、剪切干涉装置和电荷藕合器件图像传感器，所述激光器出射的激光经所述扩束镜扩束后照射到所述散斑产生装置，经所述散斑产生装置形成散斑后入射到被测物体的光滑表面，携带所述被测物体表面信息的散斑经过所述剪切干涉装置照射到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上，以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成散斑干涉图，其中，所述散斑产生装置包括若干块毛玻璃，所述毛玻璃的粗糙面面向所述扩束镜。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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