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一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统
| 专利名称： | 一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统 |
| 摘要： | 一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统，该系统含有脉冲激光器、聚焦透镜、待测样品、探头、光纤、光谱仪、计算机、ICCD相机以及可编程光束整形器；该光束整形器设置在脉冲激光器和聚焦透镜之间。激光束通过可编程光束整形器和聚焦透镜后照射到样品上并产生等离子体，由ICCD相机采集等离子体空间强度分布，通过调节可编程光束整形器的程序不断的改变光束空间强度分布，使得ICCD相机采集得到的等离子体空间强度分布呈现为均匀分布。此时，激光对待测样品的烧蚀量和等离子体光谱的稳定性均得到提高。本发明可使激光更有效、更均匀的烧蚀样品，从而降低了等离子体内部波动，对提高LIBS技术测量可重复性和准确性具有很重要的意义。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学 |
| 发明人： | 王哲;侯宗余;李天奇;傅杨挺;俞建龙;顾炜伦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811156791.1 |
| 公开号： | CN109030466A |
| 代理机构： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 |
| 代理人： | 邸更岩 |
| 分类号： | G01N21/73(2006.01)I;G01N21/71(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/73;G01N21/71 |
| 申请人地址： | 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 |
| 主权项： | 1.一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统，该系统含有脉冲激光器(1)、聚焦透镜(3)、待测样品(4)、探头(6)、光纤(7)、光谱仪(8)和计算机(9)，其特征在于：所述系统还包括ICCD相机(5)和一个能改变激光束剖面能量分布的可编程光束整形器(2)；所述可编程光束整形器(2)设置在脉冲激光器(1)和聚焦透镜(3)之间；ICCD相机(5)通过信号线与可编程光束整形器(2)连接；脉冲激光器(1)发出的激光束通过可编程光束整形器(2)和聚焦透镜(3)后作用在待测样品(4)上，产生等离子体(10)，由ICCD相机(5)采集等离子体空间强度分布，不断调整可编程光束整形器(2)的程序直至ICCD相机采集到的等离子体空间强度变为均匀分布；等离子体发出的光信号经探头(6)、光纤(7)和光谱仪(8)收集后，将光信号转换为电信号输入计算机(9)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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