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颗粒物检测装置及颗粒物检测方法
| 专利名称： | 颗粒物检测装置及颗粒物检测方法 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种颗粒物检测装置及颗粒物检测方法。所述颗粒物检测装置，包括：颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。本发明实现了对半导体处理腔室内部颗粒物情况的实时检测，提高了颗粒物检测的效率和准确度，确保了半导体制程持续、稳定的进行。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 发明人： | 董凯;颜元;李冠男;王孝进 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810499262.5 |
| 公开号： | CN108663293A |
| 代理机构： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 |
| 代理人： | 董琳;陈丽丽 |
| 分类号： | G01N15/02(2006.01)I;G01N15/06(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N15;G01N15/02;G01N15/06 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室 |
| 主权项： | 1.一种颗粒物检测装置，其特征在于，包括：颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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