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原文传递一种掺铁激光晶体缺陷检测方法和装置

专利名称：	一种掺铁激光晶体缺陷检测方法和装置
摘要：	本发明公开了一种掺铁激光晶体缺陷检测方法和装置，所述装置包括激光器、限径光阑、镀膜合束镜、镀膜分束镜、激光取样镜、激光功率计、夹持组件、数据采集卡、计算机。所述方法将对铁离子强吸收和不吸收的两个波长的检测激光进行合束，并将合束后激光入射到待检测激光晶体上，以及采用激光功率计分别检测两个波长激光在入射至待测激光晶体前、在待测激光晶体表面反射和透射功率。通过对测试的数据进行计算分析，可获得待测激光晶体的缺陷类型及特征，具体是通过激光波长不吸收的功率值表征激光晶体的气泡、麻点、裂纹等缺陷信息，通过激光波长强吸收的透射功率值表征激光晶体横向掺杂不均匀缺陷信息。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	吉林;22
申请人：	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人：	潘其坤;陈飞;谢冀江;张阔;何洋;于德洋
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810437914.2
公开号：	CN108663381A
代理机构：	深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人：	赵勍毅
分类号：	G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95
申请人地址：	130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
主权项：	1.一种掺铁激光晶体缺陷检测装置，其特征在于，所述装置包括激光器、限径光阑、镀膜合束镜、镀膜分束镜、激光取样镜、激光功率计、夹持组件、数据采集卡、计算机；所述激光器包括第一激光器和第二激光器，所述限径光阑包括第一限径光阑和第二限径光阑，所述镀膜分束镜包括第一镀膜分束镜和第二镀膜分束镜；所述数据采集卡包括位置信息采集卡和功率采集卡，所述功率采集卡包括第一功率采集卡、第二功率采集卡、第三功率采集卡、第四功率采集卡、第五功率采集卡；所述激光功率计包括第一激光功率计、第二激光功率计、第三激光功率计、第四激光功率计、第五激光功率计；所述夹持组件用于夹持待测激光晶体，并能够调节所述待测激光晶体在水平和竖直两个方向上运动；所述位置信息采集卡用于采集待测激光晶体的位置信息；所述第一激光器用于发出第一激光，所述第二激光器用于发出第二激光；所述第一激光能够被铁离子吸收，所述第二波长激光不会被铁离子吸收；第一限径光阑、镀膜合束镜、待测激光晶体沿第一激光光路依次设置，第二限径光阑设置于第二激光的光路上；所述第一限径光阑用于对第一激光进行限径，所述第二限径光阑用于对第二光进行限径，以使得限径后的第一激光和第二激光的光斑均小于在待测激光晶体表面发生的相邻两次反射或透射光的横向偏移距离；所述镀膜合束镜用于对第一激光和经过激光取样镜反射的第二激光进行合束，将合束后的激光射入到待测激光晶体表面；所述第一激光功率计用于检测入射到待测激光晶体之前的第一激光的功率值，并通过第一功率采集卡传输给计算机；所述第二激光功率计用于检测入射到待测激光晶体之前的第二激光的功率值，并通过第二功率采集卡传输给计算机；所述第一镀膜分束镜用于对在待测激光晶体表面发生发射的合束光线进行分束，生成第一分束激光和第二分束激光；所述第三激光功率计用于检测从第一镀膜分束镜透射的第一分束激光的功率值，并通过第三功率采集卡传输给计算机；所述第二镀膜分束镜用于对在待测激光晶体表面发生透射的合束光线进行分束，生成第三分束激光和第四分束激光；所述第四激光功率计用于检测从第二镀膜分束镜透射的第三分束激光的功率值，并通过第四功率采集卡传输给计算机；所述第五激光功率计用于检测从第二镀膜分束镜反射的第四分束激光的功率值，并通过第五功率采集卡传输给计算机；所述计算机用于接收第一功率采集卡、第二功率采集卡、第三功率采集卡、第四功率采集卡、第五功率采集卡传输的功率值，以及待测激光晶体的位置信息，计算得到待测晶体表面的缺陷特性信息；所述缺陷特性包括晶体内部缺陷特性信息和晶体铁离子吸收缺陷特征信息。
所属类别：	发明专利