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原文传递一种多层复合气体敏感膜

专利名称：	一种多层复合气体敏感膜
摘要：	本发明提供了一种多层复合气体敏感膜，其用于气体传感器中对气体进行探测，包括氧化锌层和氧化锡层，所述氧化锌层和氧化锡层之间互相间隔堆叠，每层均由磁控溅射方法，每一所述氧化锌层和氧化锡层的厚度在15‑45nm范围内，堆叠形成的多层复合气体敏感膜的厚度在8‑250μm之间，其中在溅射形成氧化锡层后在氧化锡层上形成铜量子点，在溅射形成氧化锌层后还对氧化锌层表面进行氧等离子体处理，解决了目前气体敏感膜制备复杂的问题，使气体敏感膜检测灵敏、制备方便且稳定性高，同时通过对尺寸和结构的优化实现气敏膜的大规模制备及应用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	佛山市飞程信息技术有限公司
发明人：	王飞利
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810258726.3
公开号：	CN108709904A
代理机构：	深圳市精英专利事务所 44242
代理人：	冯筠
分类号：	G01N27/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;G;C;G01;C23;G01N;C23C;G01N27;C23C14;G01N27/00;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58
申请人地址：	528000 广东省佛山市三水区西南街道文锋东路2号三水恒福广场104之二（住所申报）
主权项：	1.一种多层复合气体敏感膜，其用于气体传感器中对气体进行探测，其特征在于，包括氧化锌层和氧化锡层，所述氧化锌层和氧化锡层之间互相间隔堆叠，每层均由磁控溅射方法，每一所述氧化锌层和氧化锡层的厚度在15‑45nm范围内，堆叠形成的多层复合气体敏感膜的厚度在8‑250μm之间，其中在溅射形成氧化锡层后在氧化锡层上形成铜量子点，在溅射形成氧化锌层后还对氧化锌层表面进行氧等离子体处理。
所属类别：	发明专利