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原文传递动态聚焦式共轭焦光学扫描系统

专利名称：	动态聚焦式共轭焦光学扫描系统
摘要：	本发明提供一种光学扫描系统，适于扫描位于芯片上的样品。光学扫描系统包括至少一光学扫描头、至少一扫描光源、光接收元件以及处理器。各至少一光学扫描头包括对焦光源、第一光学引导结构以及控制单元。第一光学引导结构用以引导来自对焦光源的对焦光线行进至样品，且第一光学引导结构用以引导来自扫描光源的扫描光线行进至样品以产生二次光线。控制单元用以控制第一光学引导结构以保持对焦光线以及至少一扫描光线对焦至芯片的表面上。光接收元件接收二次光线并产生扫描电子信号。处理器电性耦接于光接收元件以处理扫描电子信号。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	瀚生医电股份有限公司
发明人：	刁国栋;陈荣波;卞建中;张宗凯;罗丰祥;李正道;杨进成;蔡荣源
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201710320752.X
公开号：	CN108120700A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：	马雯雯;臧建明
分类号：	G01N21/64(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/64;G01N21/01
申请人地址：	中国台湾新竹市东区埔顶里埔顶路18号9楼之4
主权项：	一种光学扫描系统，适于扫描在一芯片上的一样品，其特征在于，所述光学扫描系统包括：至少一光学扫描头，其中各所述至少一光学扫描头包括一对焦光源、一第一光学引导结构以及耦接所述第一光学引导结构的一控制单元，其中所述对焦光源适于发出一对焦光线，所述第一光学引导结构配置于所述对焦光线的传递路径上，且用以引导所述对焦光线行进至所述样品；至少一扫描光源，适于发出至少一扫描光线，其中所述第一光学引导结构用以引导所述至少一扫描光线至所述样品以产生一二次光线，其中所述控制单元用以控制所述第一光学引导结构以保持所述对焦光线以及所述至少一扫描光线对焦至所述芯片的一表面上；光接收元件，配置于所述二次光线的传递路径上以接收所述二次光线并产生一扫描电子信号；以及处理器，电耦接所述光接收元件以处理所述扫描电子信号。
所属类别：	发明专利