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原文传递一种蚀刻化学液配比质量的装置

专利名称：	一种蚀刻化学液配比质量的装置
摘要：	本实用新型提供一种蚀刻化学液配比质量的装置，包括中间贮槽、缓冲槽、反应室、浓度分析仪、控制器和显示器；中间贮槽与缓冲槽之间的导管设置有阀门，反应室与缓冲槽之间设置有原料导管，使用中间贮槽将混合的化学液体进行充分循环，打开阀门将循环完全的化学液体输送到缓冲罐中，反应时抽取缓冲罐内的液体，并通过浓度分析仪进行浓度的分析，浓度分析仪将分析后的数据输送到控制器中，控制器将获得的数据传输到显示器上显示，使得检测人员知晓化学液体的浓度。同时控制器会将该浓度值与设定的值进行比较，获得符合条件的化学液体，进而得到所需蚀刻率的浓度值，因此避免了测试成本与产能时间的损失，并提高了检测的效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福建省福联集成电路有限公司
发明人：	王嘉伟;黄建顺
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201721465421.7
公开号：	CN207351982U
代理机构：	福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：	徐剑兵;林祥翔
分类号：	G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00
申请人地址：	351117 福建省莆田市涵江区涵港西路368号
主权项：	一种蚀刻化学液配比质量的装置，其特征在于：包括中间贮槽、缓冲槽、反应室、浓度分析仪、控制器、定时器和显示器；中间贮槽与缓冲槽之间的导管设置有阀门，反应室与缓冲槽之间设置有原料导管，浓度分析仪的检测端设置在反应室内，原料导管一端设置在缓冲槽内，原料导管的另一端与反应室的第一进料口管连接，原料导管上设置有电磁阀，控制器与定时器的输入端电连接，定时器的输出端与电磁阀电连接，控制器与显示器电连接。
所属类别：	实用新型