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原文传递一种微量氧传感器的敏感元件

专利名称：	一种微量氧传感器的敏感元件
摘要：	本发明提供了一种微量氧传感器的敏感元件，包括第一泵氧结构层、第二泵氧结构层、进气限流扩散障、氧化铝层以及加热器层；第一泵氧结构层由第一电解质层、第一泵氧内电极、第一泵氧外电极、第一过孔电极以及第一多孔排气层组成；第二泵氧结构层由第二电解质层、第二泵氧内电极、第二泵氧外电极、第二过孔电极以及第二多孔排气层组成；进气限流扩散障与第一泵氧结构层、第二泵氧结构层合围构成密闭空腔；氧化铝层上设有信号引脚；加热器层包括第一绝缘层、加热器以及第二绝缘层，第二绝缘层下表面设有加热引脚，加热引脚通过第三过孔电极与加热器相连。本发明使得传感器在敏感度，线性度和使用寿命进一步提升。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海艾瓷传感科技有限公司
发明人：	沈杰;李军良
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810084967.0
公开号：	CN108120756A
代理机构：	上海天翔知识产权代理有限公司 31224
代理人：	刘粉宝
分类号：	G01N27/419(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/419
申请人地址：	201613 上海市松江区江田东路185号13幢510室
主权项：	一种微量氧传感器的敏感元件，其特征在于，所述敏感元件包括：第一泵氧结构层，第一泵氧结构层由第一电解质层、第一泵氧内电极、第一泵氧外电极、第一过孔电极以及第一多孔排气层组成；设置在第一泵氧结构层下方的第二泵氧结构层，第二泵氧结构层由第二电解质层、第二泵氧内电极、第二泵氧外电极、第二过孔电极以及第二多孔排气层组成；设置在第一泵氧结构层和第二泵氧结构层之间的进气限流扩散障，进气限流扩散障与第一泵氧结构层、第二泵氧结构层合围构成密闭空腔，第一泵氧内电极和第二泵氧内电极均设置在空腔内；设置在第一泵氧结构层上表面的氧化铝层，氧化铝层上设有信号引脚，信号引脚经第一过孔电极和第二过孔电极完成电气连接，使得所述的第一泵氧结构层和所述的第二泵氧结构层构成并联工作模式；设置在第二泵氧结构层下表面的加热器层，加热器层包括由上而下设置的第一绝缘层、加热器以及第二绝缘层，第二绝缘层下表面设有加热引脚，加热引脚通过第三过孔电极与加热器相连。
所属类别：	发明专利