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原文传递单一图像检测

专利名称：	单一图像检测
摘要：	本发明提供用于检测样本上的缺陷的方法及系统。一种系统包含产生模型。所述产生模型包含经配置以将输入特征映射集的像素块映射到标签中的非线性网络。所述标签指示所述块的一或多个缺陷相关特性。所述系统将单一测试图像输入到所述产生模型中，所述产生模型基于所述映射确定所述单一测试图像中的像素块的特征且确定所述块的标签。所述系统基于所述经确定标签来检测所述样本上的缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	科磊股份有限公司
发明人：	K·巴哈斯卡尔;约翰·R·约尔丹三世;L·卡尔森迪;桑卡·梵卡泰若曼;Y·卡蒙
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201680065635.7
公开号：	CN108291878A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：	张世俊
分类号：	G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	1.一种经配置以检测样本上的缺陷的系统，其包括：成像子系统，其经配置以产生样本的图像，其中所述成像子系统包括经配置以将能量引导到所述样本的至少能量源及经配置以检测来自所述样本的能量的至少检测器；一或多个计算机子系统，其耦合到所述成像子系统，其中所述一或多个计算机子系统经配置以获取由所述成像子系统产生的所述样本的部分的单一测试图像；及一或多个组件，其由所述一或多个计算机子系统执行，其中所述一或多个组件包括：产生模型，其中所述产生模型包括经配置以将输入特征映射集的像素块映射到标签中的非线性网络，且其中所述标签指示所述块的一或多个缺陷相关特性；其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以将所述单一测试图像输入到所述产生模型中；其中所述产生模型经配置以：将所述单一测试图像分离成多个像素块；针对所述多个像素块中的至少一者，基于仅所述多个块中的所述至少一者中的像素确定所述多个块中的所述至少一者的特征；及基于所述经确定特征及所述输入特征映射集的所述像素的所述块到所述标签中的所述映射而针对所述多个块中的所述至少一者选择所述标签中的一者；且其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以基于所述多个块中的所述至少一者的所述选定标签来检测所述样本的所述部分中的缺陷。
所属类别：	发明专利