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原文传递用于硅片的正反面识别系统

专利名称：	用于硅片的正反面识别系统
摘要：	本发明涉及硅片的加工技术领域，具体涉及用于硅片的正反面识别系统，包括设置在带静电切割片一侧的储粉盒，储粉盒底部紧贴切割片开设有喷粉孔，喷粉孔内插入有紧贴切割片的塞杆，切割片向下移动切割硅棒时塞杆向上移动；还包括识别结构，识别结构包括传送带和检测部，传送带上开设有多个收集孔，收集孔两两间放置硅片，检测部上的顶板上连接有弹性件，弹性件的自由端连接有固定块，固定块内设有电磁铁，固定块的端部粘附有刷毛，刷毛用于对硅片表面进行擦刷。本发明在切割硅棒时使硅片一侧面沾附上铁粉，方便识别硅片的正反面，让硅片侧面隔离其他污染物，保护硅片侧面，硅片在后续的清洗工序中能洗掉铁粉，铁粉不会影响硅片的其他加工工序。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	宁波德深机械设备有限公司
发明人：	叶敏
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810320985.4
公开号：	CN108515630A
代理机构：	重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217
代理人：	陈家辉
分类号：	B28D5/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02
申请人地址：	315000 浙江省宁波市高新区扬帆广场8、20、32号9-5-070室
主权项：	1.用于硅片的正反面识别系统，其特征在于：包括设置在切割片一侧且储存有铁粉的储粉盒，所述切割片在切割硅棒过程中带有静电，所述储粉盒底部紧贴切割片开设有喷粉孔，所述喷粉孔内插入有紧贴切割片的塞杆，所述切割片向下移动切割硅棒时塞杆向上移动使铁粉从喷粉孔洒出；还包括用于识别硅片正面和反面的识别结构，所述识别结构包括传送带和位于传送带上方的检测部，所述传送带间歇性传送硅片，所述传送带上开设有多个收集孔，所述收集孔两两间放置硅片，所述检测部包括顶板，所述顶板上连接有弹性件，所述弹性件的自由端连接有固定块，所述固定块朝向传送带一侧上设有可刷到硅片的刷毛，所述固定块内设有间歇性通电和断电的电磁铁，所述电磁铁在硅片位于刷毛下方时通电，所述电磁铁在收集孔位于刷毛下方时断电。
所属类别：	发明专利