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一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台
| 专利名称： | 一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台 |
| 摘要： | 一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，涉及一种实验设备，所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨，圆柱导轨上设有一个固定平板，固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接；固定平板上设有丝母，配合一根进给丝杆；固定平板下面安装Ｘ轴移动托板，Ｘ轴移动托板用一只精密千分尺限位；Ｘ轴移动托板下面安装有Ｙ轴移动托板，Ｙ轴移动托板设有一只精密千分尺限位；Ｙ轴移动托板上设有三维样品台的支撑管，固定三维样品台，支撑管下面设有一组陶封电极，引出加热导线和温度传感器连接线。本三维样品台在真空设备中做三维移动，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 |
| 发明人： | 李双江;董顺;曹崇友 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820243329.4 |
| 公开号： | CN207850900U |
| 代理机构： | 沈阳技联专利代理有限公司 21205 |
| 代理人： | 张志刚 |
| 分类号： | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/84(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/84 |
| 申请人地址： | 110000 辽宁省沈阳市沈河区凌云街35号 |
| 主权项： | 1.一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台，其特征在于，所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨，圆柱导轨上设有一个固定平板，固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接；固定平板上设有丝母，配合一根进给丝杆；固定平板下面安装Ｘ轴移动托板，Ｘ轴移动托板用一只精密千分尺限位；Ｘ轴移动托板下面安装有Ｙ轴移动托板，Ｙ轴移动托板设有一只精密千分尺限位；Ｙ轴移动托板上设有三维样品台的支撑管，固定三维样品台，支撑管下面设有一组陶封电极，引出加热导线和温度传感器连接线。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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