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原文传递纳米压痕/刻划测试装置

专利名称：	纳米压痕/刻划测试装置
摘要：	本发明涉及一种纳米压痕/刻划测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。其结构包括X、Y精密定位平台、Z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y精密定位平台通过连接板Ⅰ 2与粗调整机构Ⅲ 15相连，该调整机构Ⅲ 15固定在底座1上，载物台8通过力传感器9与X、Y精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ 3上，该侧板Ⅰ 3固定在底座1上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ 14固定在底座1上。技术效果是：结构紧凑、体积小。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试（最大尺寸达到20mm×20mm×10mm）；位移加载分辨率达到纳米级、加载力分辨率达到微牛级。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	宁波高新区天都科技有限公司
发明人：	孙义质
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810197687.0
公开号：	CN108507891A
分类号：	G01N3/42(2006.01)I;G01N3/46(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3;G01N3/42;G01N3/46
申请人地址：	315040 浙江省宁波市高新区66号223-1室
主权项：	1. 一种纳米压痕/ 刻划测试装置，其特征在于：包括X、Y 精密定位平台、Z 轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y 精密定位平台通过连接板Ⅰ（2）与粗调整机构Ⅲ（15）相连，该调整机构Ⅲ（15）固定在底座（1）上，载物台（8）通过力传感器（9）与X、Y 精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z 轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ（3）上，该侧板Ⅰ（3）固定在底座（1）上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ（14）固定在底座（1）上。
所属类别：	发明专利