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原文传递一种蒸发腔及蒸发腔气体检测方法

专利名称：	一种蒸发腔及蒸发腔气体检测方法
摘要：	本发明提供一种蒸发腔及蒸发腔气体检测方法，该蒸发腔包括：蒸发腔本体；气体检测部件，所述气体检测部件设置于所述蒸发腔本体的腔室内，用于检测所述腔室内的目标气体的浓度；显示部件，所述显示部件设置于所述蒸发腔本体外，所述显示部件与所述气体检测部件电连接，用于显示所述目标气体的浓度。由于在蒸发腔本体的腔室内设置有用于检测目标气体的浓度的气体检测部件，在蒸发腔本体外设置有显示目标气体的浓度的显示部件，从而无需由检测人员用手将检测仪器伸入腔室内进行检测，这样，能够使得检测更加简单、方便，省时省力，且能够大大减小对检测人员的危害。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
发明人：	王何美
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201811583785.4
公开号：	CN109669004A
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	许静;黄灿
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
主权项：	1.一种蒸发腔，其特征在于，包括：蒸发腔本体；气体检测部件，所述气体检测部件设置于所述蒸发腔本体的腔室内，用于检测所述腔室内的目标气体的浓度；显示部件，所述显示部件设置于所述蒸发腔本体外，所述显示部件与所述气体检测部件电连接，用于显示所述目标气体的浓度。 2.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔还包括第一控制件，所述第一控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第一控制件与所述气体检测部件电连接，用于控制所述气体检测部件工作。 3.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔还包括保护组件，所述保护组件至少具有第一工作状态和第二工作状态；其中，当所述保护组件处于所述第一工作状态时，所述保护组件遮挡所述气体检测部件；当所述保护组件处于所述第二工作状态时，所述气体检测部件至少部分外露。 4.根据权利要求3所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护组件包括：保护罩，所述保护罩设置于所述腔室内，所述保护罩至少具有第一工作位置和第二工作位置；在所述第一工作位置时，所述保护罩遮挡所述气体检测部件；在所述第二工作位置时，所述气体检测部件至少部分外露；驱动机构，所述驱动机构与所述保护罩传动连接，用于驱动所述保护罩运动至所述第一工作位置或所述第二工作位置；第二控制件，所述第二控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第二控制件与所述驱动机构电连接，用于控制所述驱动机构工作。 5.根据权利要求4所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护组件还包括保护连接件，所述保护连接件嵌设于所述蒸发腔本体上且贯穿所述蒸发腔本体，所述保护连接件的第一端面位于所述腔室内，所述保护连接件的第二端面位于所述蒸发腔本体外，所述保护连接件内开设有安装腔，所述安装腔贯穿所述保护连接件的第一端面；所述气体检测部件安装于所述安装腔内，并通过穿过所述保护连接件的第二端面的第一线缆与所述显示部件电连接；所述驱动机构安装于所述安装腔内，并通过穿过所述保护连接件的第二端面的第二线缆与所述第二控制件电连接；所述保护罩与所述保护连接件活动连接，所述保护罩可相对于所述保护连接件运动至所述第一工作位置或所述第二工作位置；其中，在所述第一工作位置时，所述保护罩封堵所述安装腔；在所述第二工作位置时，所述气体检测部件至少部分外露。 6.根据权利要求4所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护罩的材质为钛、钛合金、铜或铜合金。 7.根据权利要求3至6任一项所述的蒸发腔，其特征在于，所述显示部件与所述保护组件电连接，所述显示部件还用于显示所述保护组件当前所处的工作状态。 8.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔本体为铜铟镓硒共蒸发镀膜设备中的蒸发腔，所述气体检测部件为氟化氢检测仪。 9.一种蒸发腔气体检测方法，应用于权利要求3至7任一项所述的蒸发腔，其特征在于，包括：对所述蒸发腔本体的腔室内的气体进行第一次洗气处理；控制所述保护组件由所述第一工作状态切换至所述第二工作状态；将气体检测部件检测到的目标气体的浓度显示于所述显示部件。 10.根据权利要求9所述的蒸发腔气体检测方法，其特征在于，所述显示部件显示所述目标气体的浓度之后，还包括：若所述目标气体的浓度小于或等于预设值，则控制所述蒸发腔本体开启；若所述目标气体的浓度大于所述预设值，则对所述腔室内的气体进行第二次洗气处理。
所属类别：	发明专利