详情

原文传递一种硅片篮翻转装置

专利名称：	一种硅片篮翻转装置
摘要：	本实用新型提供一种硅片篮翻转装置，包括底座、翻转架、伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，底座上通过导轨滑动设置有翻转架，伸缩驱动机构的伸缩端与旋转驱动机构连接，旋转驱动机构的旋转端与翻转架连接，位置传感器设于翻转架上，位置传感器与控制器电连接，控制器与旋转驱动机构电连接。该硅片篮翻转装置可实现硅片篮在输送与出料设备之间的自动翻转，以实现硅片插片至清洗的自动化，并且可对硅片篮的翻转角度更精准的控制，有利于机械手顺利的夹持到硅片篮，从而保证清洗设备工作的连续性，提高清洗效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	天津;12
申请人：	天津环博科技有限责任公司
发明人：	崔振强;靳立辉;王国瑞;任志高;杨骅;高翔;赵晓光;刘奇
专利状态：	有效
申请号：	CN201820819251.6
公开号：	CN208307817U
代理机构：	天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人：	栾志超
分类号：	B65G47/248(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	300000 天津市滨海新区滨海高新区滨海科技园高新六路39号9-3-401号
主权项：	1.一种硅片篮翻转装置，其特征在于：包括底座、翻转架、第一伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，所述底座上通过导轨滑动设置有翻转架，所述第一伸缩驱动机构的伸缩端与所述旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构的旋转端与所述翻转架连接，所述位置传感器设于所述翻转架上，所述位置传感器与所述控制器电连接，所述控制器与所述旋转驱动机构电连接。
所属类别：	实用新型