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原文传递结合片块及基于设计的缺陷检测

专利名称：	结合片块及基于设计的缺陷检测
摘要：	本发明揭示通过比较测试图像及参考图像与呈现设计图像来执行缺陷检测，所述呈现设计图像可从设计文件产生。这可发生的原因是：归因于噪声，测试图像与另一参考图像的比较是非结论性的。所述两个与所述呈现设计图像的比较的结果可指示缺陷是否存在于所述测试图像中。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	科磊股份有限公司
发明人：	B·布拉尔;S·巴塔查里亚
专利状态：	有效
申请号：	CN201780028352.X
公开号：	CN109154575A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：	张世俊
分类号：	G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	1.一种系统，其包括：复检工具，其中所述复检工具包含：载物台，其经配置以固持晶片；及图像产生系统，其经配置以产生所述晶片的测试图像；及控制器，其与所述复检工具电子通信，其中所述控制器经配置以：比较所述测试图像与第一参考图像；基于比较所述测试图像与所述第一参考图像来确定缺陷存在于所述测试图像中；比较所述第一参考图像与呈现设计图像以产生第一值；比较所述测试图像与所述呈现设计图像以产生第二值；及确定对应于所述第二值是否大于所述第一值的结果。
所属类别：	发明专利