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一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法
| 专利名称： | 一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法 |
| 摘要： | 本发明是一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法，采用玻璃衬底（1），Mo/Al/Mo底栅极（2），采用间歇式生长方式旋涂聚乙烯醇（PVA）和连续式生长方式旋涂聚苯乙烯（PS）形成复合绝缘层（3）形成平整的绝缘层表面。采用成核生长方式生长p‑六联苯（p‑6P）诱导层（4），采用快速蒸镀和慢速蒸镀相结合方式蒸镀酞菁氧钒（VOPc）形成孔状气体敏感层（5），最后蒸镀金材料作为底接触的叉指电极。该孔状结构的气体敏感层为分析物与传导通道中的电荷载流子相互作用提供了立体的直接接触通道，从而获得高灵敏度、快速响应的有机气体传感器。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 吉林;22 |
| 申请人： | 长春工业大学 |
| 发明人： | 王璐;刘昱含;王丽娟;孙丽晶;佟万璐;边奇;朱彤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810945690.6 |
| 公开号： | CN109142446A |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 130012 吉林省长春市朝阳区延安大街2055号 |
| 主权项： | 1.一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法包括：玻璃衬底层（1），Mo/Al/Mo底栅极（2），聚乙烯醇（PVA）和聚苯乙烯（PS）复合绝缘层（3），p‑六联苯（p‑6P）诱导层（4），酞菁氧钒（VOPc）气体敏感层（5），金叉指电极（6）。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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