专利名称: |
一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法 |
摘要: |
本发明提供一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法,包括以下步骤:利用电介质镜像法将雾滴表面的束缚电荷等效为镜像线电荷,得到平面上任意点的电位函数;根据得到的电位函数,求解雾滴剖面模型电极间电容量,得到雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式;根据雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式,求解雾滴剖面模型的电极间电容增量,得到雾滴对电极间电容的总增量;建立雾滴体积与电极间电容增量的数学关系,通过测量电极间电容增量得到雾滴体积。本发明提供的沉积雾滴体积测量方法,充分考虑沉积雾滴在物体表面沉积的表面张力特性问题和雾滴表面束缚电荷对长线形电容器电场的影响,大大提高了测量的准确度。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
华南农业大学 |
发明人: |
蔡坤;兰玉彬;李继宇;胡洁;彭孝东 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201810689052.2 |
公开号: |
CN109164022A |
代理机构: |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人: |
林丽明 |
分类号: |
G01N15/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N15 |
申请人地址: |
510630 广东省广州市天河区五山路483号 |
主权项: |
1.一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:利用电介质镜像法将雾滴表面的束缚电荷等效为镜像线电荷,得到平面上任意点的电位函数;S2:根据得到的电位函数,求解雾滴剖面模型电极间电容量,得到雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式;S3:根据雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式,求解雾滴剖面模型的电极间电容增量,得到雾滴对电极间电容的总增量;S4:建立雾滴体积与电极间电容增量的数学关系,通过测量电极间电容增量得到雾滴体积。 |
所属类别: |
发明专利 |