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原文传递分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置

专利名称：	分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置
摘要：	本发明公开的分光瞳共焦Raman‑LIBS‑质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，分光瞳共焦Raman‑LIBS‑质谱探测的飞秒激光加工监测用于飞秒激光加工与在线监测和物性综合参数在线检测。本发明将分光瞳激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用分光瞳共焦系统对样品轴向位置进行高精度原位在线监测和样品轴向加工尺寸测量；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块和质谱仪对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京理工大学
发明人：	邱丽荣;王允;赵维谦
专利状态：	有效
申请号：	CN201811344627.3
公开号：	CN109187728A
代理机构：	北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639
代理人：	邬晓楠
分类号：	G01N27/64(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	100081 北京市海淀区中关村南大街5号
主权项：	1.分光瞳共焦Raman‑LIBS‑质谱探测的飞秒激光加工监测方法，其特征在于：利用飞秒激光加工系统对样品(9)进行微细结构加工，利用分光瞳激光共焦轴向监测模块(1)对样品(9)表面形貌轮廓、加工中样品(9)表面轴向位置进行实时监控，并对加工后样品(9)表面的几何参数进行检测，利用拉曼光谱探测模块(26)对飞秒激光加工后样品(9)材料的分子结构变化进行检测分析，利用LIBS光谱探测模块(29)对材料的原子、小分子和元素信息进行检测分析，利用质谱仪(32)对材料的离子信息进行检测分析，对上述信息进行融合获得样品(9)微区形态和物性综合参数，进而实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品(9)的加工质量；包括以下步骤：步骤一、将样品(9)置于精密工作台(10)上，由精密工作台(10)带动样品(9)进行扫描运动，利用分光瞳共焦轴向监测模块(1)对样品(9)的表面轮廓进行扫描测量，并将测量结果反馈给计算机(33)，用于飞秒激光加工系统对加工控制参数的调整；其中，分光瞳共焦轴向监测模块(1)由激光器(2)、扩束器(3)、反射镜(12)、探测物镜(13)、分光瞳探测模块(14)组成，轴向监测平行光束(4)经二向色镜A(5)反射、二向色镜B(6)透射后，进入物镜(7)并被聚焦到样品(9)上，经样品(9)反射的反射轴向监测光束(11)经反射镜(12)、探测物镜(13)、光斑放大物镜(19)后汇聚透过针孔(20)后被光强探测器(21)接收，经过光强信号处理器(22)得到分光瞳共焦曲线(23)；依据分光瞳共焦曲线(23)的峰值点位置对样品(9)的轴向离焦位置进行高精度监测；步骤二、利用飞秒激光器(15)、激光时空整形模块(16)、二维扫描器(18)构成的飞秒激光加工系统对样品(9)进行微纳结构加工，加工过程中利用分光瞳共焦轴向监测模块(1)对加工过程中样品(9)表面的轴向位置进行监测；依据分光瞳共焦曲线(23)的峰值点位置对样品(9)的轴向位置进行高精度监测；步骤三、计算机(33)依据测量结果调整样品(9)的轴向位置，实时调整精密工作台(10)的位置，实现加工过程中样品(9)的精确定焦；步骤四、加工完成后，利用分光瞳共焦轴向监测模块(1)对加工完成后的样品结构进行扫描测量，实现加工后样品(9)形态参数的纳米级高精度原位检测；步骤五、轴向监测平行光束(4)经物镜(7)聚焦到样品(9)上，激发出拉曼散射光谱，该光谱经二向色镜B(6)反射后透过二向色镜C(34)由拉曼光谱探测模块(26)探测，对加工后样品(9)的分子结构参数进行原位检测分析，其中，拉曼探测模块(26)由拉曼耦合镜(24)和拉曼光谱探测器(25)组成；步骤六、脉冲光束经物镜(7)聚焦到样品(9)上，激发出等离子体羽(30)，部分等离子体通过离子吸管(31)由质谱仪(32)探测，对加工后样品的带电离子进行原位检测分析；等离子体羽(30)湮灭发出LIBS光谱，该光谱经二向色镜B(6)反射后再次被二向色镜C(34)反射，由LIBS光谱探测模块(29)探测，对加工后样品(9)的原子、小分子和元素信息进行原位检测分析；步骤七、由光强信号处理器(22)、拉曼光谱探测器(25)、LIBS光谱探测器(28)和质谱仪(32)探测得到信号传输至计算机(33)进行信息融合，得到加工后的样品(9)的微区形态和性能综合参数，并根据样品的微区形态和性能综合参数分析加工过程中的样品物性变化规律和加工后的效果，对通过激光时空整形模块(16)对加工激光束(17)进行调制，提高微纳结构飞秒激光加工精度的可控性和样品(9)的加工质量。
所属类别：	发明专利