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原文传递多功能样品台

专利名称：	多功能样品台
摘要：	本发明公开了一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。本发明的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本发明的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	胜科纳米(苏州)有限公司
发明人：	刘兵海;华佑南;傅超;李晓旻
专利状态：	有效
申请号：	CN201811146589.0
公开号：	CN109239114A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	朱琳
分类号：	G01N23/2204(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507
主权项：	1.一种多功能样品台，其特征在于，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。
所属类别：	发明专利