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原文传递 基于环形谐振腔倍频结构的气态汞浓度检测装置及方法
专利名称: 基于环形谐振腔倍频结构的气态汞浓度检测装置及方法
摘要: 本发明涉及基于环形谐振腔倍频结构的气态汞浓度检测装置及方法。现有汞蒸气浓度检测装置使用寿命短、测量结果浮动大。本发明包括半导体激光器、光栅、模式匹配镜、半波片、环形谐振腔、BBO晶体、二色向镜、分束镜、参考气室、检测气室和两个探测器。半导体激光器输出波长为507.3或730.2纳米。检测时,启动激光器,接收两个探测器产生的信号,对两路信号进行锁相放大,得到最大二次谐波信号;记录参考气室中二次谐波信号的最大幅值,在检测气室信号的相同位置,获得检测气室路二次谐波信号的幅值;计算得到待检测气体中汞浓度。本发明扩大了光源选择范围,提高了倍频转化效率、装置灵敏度和检测精度,实现了对元素汞浓度的实时监测。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 杭州电子科技大学
发明人: 林宏泽;蒋鹏;佘青山;席旭刚;林广;吴翔;魏凯华
专利状态: 有效
申请号: CN201811020538.3
公开号: CN109239009A
代理机构: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240
代理人: 朱月芬
分类号: G01N21/39(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
主权项: 1.基于环形谐振腔倍频结构的气态汞浓度检测装置,其特征在于该装置包括:半导体激光器(1)、光栅(2)、模式匹配镜(3)、半波片(4)、环形谐振腔、BBO晶体(5)、二色向镜(6)、分束镜(7)、参考气室(8)、检测气室(9)和两个探测器;所述的半导体激光器(1)输出波长为507.3±2纳米或730.2±2纳米,输出光强大于等于10毫瓦;半导体激光器(1)输出的光路上设置有光栅(2)、模式匹配镜(3)、半波片(4)、耦合镜(10)、第一高反镜(11)、第二高反镜(12)、第三高反镜(13);半导体激光器(1)输出波长通过调节光栅角度实现反馈调节,准确达到507.3纳米或730.2纳米;经光栅(2)调节后的光束依次经过模式匹配镜(3)和半波片(4)整形,再由耦合镜(10)进入环形谐振腔中;所述的模式匹配镜(3)为凸透镜;所述的耦合镜(10)、第一高反镜(11)、第二高反镜(12)、第三高反镜(13)构成环形谐振腔,其中耦合镜(10)和第一高反镜(11)为平面镜,第二高反镜(12)和第三高反镜(13)为凹面镜;光束在环形谐振腔中来回反射,光束穿过耦合镜,经第一高反镜反射到第二高反镜,再反射到第三高反镜,第三高反镜再将光束反射至耦合镜;第二高反镜(12)至第三高反镜(13)的光路上依次设置有BBO晶体(5)和二色向镜(6);第二高反镜(12)至第三高反镜(13)过程中,经过BBO晶体(5)产生倍频效应,生成倍频光;倍频光被二色向镜(6)反射到环形谐振腔外,被分束镜(7)分为两束:一束通过参考气室(8),被第一探测器(14)探测;一束通过检测气室(9),被第二探测器(15)探测;两个探测器信号被数据采集卡采集。
所属类别: 发明专利
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