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一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统及测试方法
| 专利名称： | 一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统及测试方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统，包括配气单元、进样和定容单元、吸附反应单元、真空发生单元和系统控制单元。其中，配气单元包括多路进气入口、混合气出口和质量流量计；进样和定容单元包括密封阀、六通阀、压力传感器、定容腔和出口；吸附反应单元包括密封阀、吸附反应器和程序控温炉；真空发生单元包括密封阀、真空泵以及尾气出口；系统控制单元包括数模转化模块和可视化操作的控制终端。本发明还提供了使用该测试系统进行化学吸附反应测试的方法，能在分子尺度下对朗格缪尔式吸附及表面反应进行定量化测试。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 发明人： | 杨轶飞;姚运喜 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810820936.7 |
| 公开号： | CN109239209A |
| 代理机构： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 |
| 代理人： | 唐健玲 |
| 分类号： | G01N30/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30 |
| 申请人地址： | 610000 四川省成都市双流区银河路596号 |
| 主权项： | 1.一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统，其特征在于，包括：配气单元(A)，包括1～n路进气入口，混合气出口(I)和(II)，以及用于调控的质量流量计(h)；进样和定容单元(B)，包括六通阀(a)、压力传感器(b)和定容腔(c)，所述六通阀第一端口通过第一密封阀(1)与混合气出口(I)管道连接，六通阀第二端口通过第四密封阀(4)与定容腔连接，六通阀第三端口与尾气出口(III)相连，定容腔通过第二密封阀(2)与混合气出口(II)管道连接，定容腔还通过第五密封阀(5)与压力传感器连接；吸附反应单元(C)，包括吸附反应器(d)和反应温度调节的程序控温炉(e)；所述吸附反应器旁路连接第六密封阀(6)，吸附反应器一端通过第三密封阀(3)与定容腔(c)连接；真空发生单元(D)，包括真空泵(f)及尾气出口(III)，所述尾气出口依次通过第八密封阀(8)和第七密封阀(7)与吸附反应器(d)的另一端连接，所述真空泵即通过第九密封阀(9)连接在第八密封阀(8)和第七密封阀(7)之间的连接管道上；系统控制单元(E)，包括用于实现与质量流量计(h)通讯的第一数模转化模块(i)，用于实现与六通阀(a)通迅的第二数模转化模块(j)，用于实现与压力传感器(b)通讯的第三数模转化模块(k)，用于实现与所有密封阀通讯的第四数模转化模块(l)，用于实现与程序控温炉(e)通讯的第五数模转化模块(m)，以及能够读取和写入所有数模转化模块信号的可视化操作的控制终端(n)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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