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蒸镀装置
| 专利名称： | 蒸镀装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀装置(1)，该蒸镀装置(1)包括用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业的腔室(2)和用于向所述腔室(2)的内部导入气体的气体入口(22)，所述蒸镀装置的特征在于，所述腔室(2)设有用于检测所述腔室(2)内部的氧气浓度的氧浓度检测装置(3)。根据该实用新型，能够监控腔室内的氧气浓度。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 佳能特机株式会社 |
| 发明人： | 小川雄太 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201820819527.0 |
| 公开号： | CN208420841U |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
| 代理人： | 张宝荣 |
| 分类号： | G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33 |
| 申请人地址： | 日本新泻县 |
| 主权项： | 1.一种蒸镀装置，包括用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业的腔室(2)和用于向所述腔室(2)的内部导入气体的气体入口(22)，所述蒸镀装置的特征在于，所述腔室(2)设有用于检测所述腔室(2)内部的氧气浓度的氧浓度检测装置(3)。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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