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原文传递一种真空进样装置

专利名称：	一种真空进样装置
摘要：	本发明公开一种真空进样装置，其包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构四部分。该真空进样装置，采用了独立的Z方向电机进行举靶，不会增加XY电机的负载，大大降低了丝杠的磨损，也不会对平台产生任何绕动力矩，从而长久保证了平台水平方向的位置精度；通过双O圈密封或波纹管密封设计，以保证举靶支杆与工作腔室的真空隔离密封。不仅结构简单、装配维护容易，而且通过对电机的程控，非常方便调整靶托的水平高度，调整密封效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	厦门元谱生物科技有限公司
发明人：	何坚
专利状态：	有效
申请号：	CN201811375246.1
公开号：	CN109270285A
代理机构：	北京高沃律师事务所 11569
代理人：	王海燕
分类号：	G01N35/10(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N35
申请人地址：	361000 福建省厦门市湖里区嘉禾路398号515室
主权项：	1.一种真空进样装置，其特征在于：包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构，所述工作腔室的腔室盖板上分别开设有与真空设备连接的工作腔室开口、与检测设备连接的检测区开口和用于样品更换出入口的进样口；所述工作腔室内包括有所述过渡舱室，且所述进样口处设置有过渡舱室盖板；设置于所述工作腔室内的所述XY二维运动平台包括X方向平台和Y方向平台，所述Y方向平台安装在位于所述工作腔室内底部的Y轴驱动机构上，所述X方向平台通过X轴驱动机构安装在所述Y方向平台的顶部；所述举靶机构包括靶托和Z轴驱动机构，所述X方向平台上设置有若干个支撑螺柱，装有样品靶板的所述靶托放置在若干个所述支撑螺柱上，与所述靶托相配合的所述Y轴驱动机构竖直穿设在所述工作腔室内。
所属类别：	发明专利