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原文传递一种自反馈密封腔气体取样装置

专利名称：	一种自反馈密封腔气体取样装置
摘要：	本实用新型公开了一种自反馈密封腔气体取样装置，包括工作台，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路。本实用新型密封腔气体取样装置集样品整体检漏、样品内密封腔体积测定以及样品内密封腔气氛取样与分析等功能于一体；易于实现一键式操控；样品载物台适用于不同规格的样品，无螺钉等紧固件，更换样品方便。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	中国工程物理研究院化工材料研究所
发明人：	田先清;王新锋
专利状态：	有效
申请号：	CN201821120497.0
公开号：	CN208432441U
代理机构：	四川省成都市天策商标专利事务所 51213
代理人：	刘兴亮;吴瑞芳
分类号：	G01N1/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	621000 四川省绵阳市绵山路64号
主权项：	1.一种自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于包括工作台，以及与工作台相连的上盖组件、样品载物台、密封穿刺组件、真空压力传感器，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，所述密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，所述真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路，在工作台两侧分别设置有两个真空截止阀，吹扫气接口连接第一真空截止阀，在取样接口也连接有第二真空截止阀。
所属类别：	实用新型