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钨镍铁合金抛光液及合金表面抛光、金相制备方法
| 专利名称： | 钨镍铁合金抛光液及合金表面抛光、金相制备方法 |
| 摘要： | 本发明属于抛光加工和材料表面结构测定技术领域，提供钨镍铁合金抛光液及合金表面抛光、金相制备方法。所述的抛光液包括纳米磨粒、氧化剂、粘度调节剂、pH调节剂和去离子水，抛光液的pH值范围为pH 2.5～pH 3.5、pH 6.5～pH 7.5或pH 9.5～pH 10.5。本发明采用自制的抛光液进行钨镍铁合金的化学机械抛光，根据抛光条件选择不同的抛光液参数可以得到不同的抛光加工表面，获得的最优表面粗糙度Ra低于5nm，能够满足钨合金纳米级表面粗糙度的加工需求，同时采用该抛光液抛光后的工件具有超光滑表面，可直接用于金相观测，且金相组织结构清晰完整。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 大连理工大学 |
| 发明人： | 康仁科;焦振华;郭江;董志刚 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811053572.0 |
| 公开号： | CN109269867A |
| 代理机构： | 大连理工大学专利中心 21200 |
| 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 分类号： | G01N1/32(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1 |
| 申请人地址： | 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 |
| 主权项： | 1.一种钨镍铁合金化学机械抛光液，其特征在于，所述的抛光液包括纳米磨粒、氧化剂、粘度调节剂、pH调节剂和去离子水；所述纳米磨粒的含量为抛光液的5.0％‑30wt.％；所述氧化剂的含量为抛光液的0.01％‑2.0wt.％；所述粘度调节剂的量根据实际情况调节，最终抛光液的运动粘度值达到15～45mm2/s范围；所述的钨镍铁合金化学机械抛光液的pH值为pH 2.5～pH 3.5、pH 6.5～pH 7.5或pH 9.5～pH 10.5，具体pH值根据实际工序确定。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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