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一种椭圆偏振光测量装置及测量方法
| 专利名称： | 一种椭圆偏振光测量装置及测量方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种椭圆偏振光测量装置，其包括依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；所述样品架用于放置待测样品，光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到所述集成检偏器；所述集成检偏器包括多个偏振器，每个偏振器的方位角在0‑180°之间分布，从待测样品反射出来的光线入射到偏振器；所述探测器组件包括多个探测器，所述探测器与所述偏振器一一对应设置，独立检测每一偏振器的光学信号。本发明所提供的高速椭圆偏振光测量系统具有采样效率更高，可以快速获取偏振器接近纳秒级别的高速动态参数的优点，本发明还提供一种椭圆偏振光测量方法。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 发明人： | 汪晓平;陈良尧;项晓东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201710894030.5 |
| 公开号： | CN109270000A |
| 代理机构： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 |
| 代理人： | 王琴;蔺显俊 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 315000 浙江省宁波市高新区聚贤路1299号 |
| 主权项： | 1.一种椭圆偏振光测量装置，其特征在于，包括：依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；所述样品架用于放置待测样品，光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到所述集成检偏器；所述集成检偏器包括多个偏振器，每个偏振器的方位角在0‑180°之间分布，从待测样品反射出来的光线入射到偏振器；所述探测器组件包括多个探测器，所述探测器与所述偏振器一一对应设置，独立检测每一偏振器的光学信号。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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