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原文传递 基板装载/卸载系统和装置
专利名称: 基板装载/卸载系统和装置
摘要: 本发明公开一种基板装载/卸载系统与装置。基板装载/卸载系统包括基板收纳装置以及基板装载/卸载装置。基板收纳装置用以收纳至少一个基板并包含架体以及多个支撑件。架体具有两个相对侧。支撑件沿第一方向彼此平行设置并且连接于架体的这些相对侧,并且至少部分这些支撑件实质上位于同一高度。基板装载/卸载装置具有多个基板上浮单元,这些基板上浮单元沿第一方向彼此平行间隔设置。其中,当基板装载/卸载装置装载或卸载基板时,至少一个基板上浮单元位于两个相邻的这些支撑件之间。本发明可提高基板收纳装置的单位体积收纳量。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 中国台湾;71
申请人: 启耀光电股份有限公司
发明人: 潘正哲
专利状态: 有效
申请号: CN201710584214.1
公开号: CN109264402A
代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人: 徐东升;赵蓉民
分类号: B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49
申请人地址: 中国台湾台南市新市区丰华里堤塘港路5号
主权项: 1.一种基板装载/卸载系统,其特征在于,包括:基板收纳装置,用以收纳至少一个基板,所述基板收纳装置包含:架体,具有两个相对侧;以及多个支撑件,沿第一方向彼此平行设置并连接于所述架体之的所述相对侧,并且至少部分所述支撑件实质上位于同一高度;以及基板装载/卸载装置,具有多个基板上浮单元,所述基板上浮单元沿所述第一方向彼此平行间隔设置;其中,当所述基板装载/卸载装置装载或卸载所述基板时,至少一个所述基板上浮单元位于两个相邻所述支撑件之间。
所属类别: 发明专利
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