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高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法
| 专利名称： | 高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法，该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成，所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头，所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件，反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法，克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安工业大学 |
| 发明人： | 高爱华;侯劲尧;刘卫国;秦文罡;韦瑶 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811306738.5 |
| 公开号： | CN109297987A |
| 代理机构： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 |
| 代理人： | 黄秦芳 |
| 分类号： | G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 710032 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
| 主权项： | 1.一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置，其特征在于：由半导体激光器（1）、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器（7）构成，所述CCD成像系统包括CCD相机（3）和显微镜头（4），所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒（2）和背向积分散射率测量组件（5），反射光路上设置有前向积分散射率测量组件（6）。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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