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图案结构物的检测装置及检测方法
| 专利名称： | 图案结构物的检测装置及检测方法 |
| 摘要： | 根据本发明的一观点，提供一种图案结构物的检测方法，该方法包括：从波动源向包括图案区域的样本照射波动的步骤，所述图案区域上形成有位于基板上且具有一定图案的结构物；利用信息收集部在所述图案区域中收集基于多重衍射而形成的散斑(speckle)信息的步骤；以及将所述收集的信息与基准信息进行比较，并分析在所述图案区域上形成的结构物形态的异常与否的步骤。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 韩国;KR |
| 申请人： | 韦务拓客公司;韩国科学技术院 |
| 发明人： | 金英德;朴钟瓒;朴龙根 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201780034467.X |
| 公开号： | CN109313139A |
| 代理机构： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 |
| 代理人： | 郑青松 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 韩国大田广域市 |
| 主权项： | 1.一种图案结构物的检测方法，其特征在于，该方法包括：从波动源向包括图案区域的样本照射波动的步骤，所述图案区域上形成有位于基板上且具有一定图案的结构物；利用信息收集部在所述图案区域中收集基于多重衍射而形成的散斑(speckle)信息的步骤；以及将所述收集的信息与基准信息进行比较，并分析在所述图案区域上形成的结构物形态的异常与否的步骤。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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