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粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置
| 专利名称： | 粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够防止粉尘等微小异物附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置(14A、15A、16A)防止粉尘附着于被加工的基板(W)的表面，且具备：罩(14、16)，其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面；以及加压机构，其始终对该罩内的空间进行加压，该加压机构从在罩(14、16)开口的气体流入口(17)向罩(14、16)内注入压力气体。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 发明人： | 上野勉;高松生芳;西尾仁孝 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810808653.0 |
| 公开号： | CN109318387A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 肖茂深 |
| 分类号： | B28D7/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7 |
| 申请人地址： | 日本国大阪府 |
| 主权项： | 1.一种粉尘飞散防止装置，其防止粉尘附着于被加工的基板的表面，其特征在于，所述粉尘飞散防止装置具备：罩，其以隔开空间的方式覆盖要加工的基板的表面；以及加压机构，其始终对所述罩内的空间进行加压，所述加压机构从在所述罩开口的气体流入口向罩内注入压力气体。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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