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粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置
| 专利名称： | 粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够减轻基板加工过程中的粉尘等微小异物的飞散并防止粉尘附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置具备加工部用粉尘飞散防止装置(15A)和搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)，加工部用粉尘飞散防止装置(15A)具备：罩(15)，其以隔开空间的方式覆盖基板加工部；以及减压机构，其始终对该罩(15)内的空间进行减压，搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)具备：罩(14、16)，其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面；以及加压机构，其始终对该罩(14、16)内的空间进行加压。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 发明人： | 上野勉;高松生芳;西尾仁孝 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810793557.3 |
| 公开号： | CN109318375A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 肖茂深 |
| 分类号： | B28D1/22(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D1 |
| 申请人地址： | 日本国大阪府 |
| 主权项： | 1.一种粉尘飞散防止装置，其防止在基板加工装置中的基板加工部及基板搬运部产生的粉尘的飞散，其特征在于，所述粉尘飞散防止装置具备：加工部用粉尘飞散防止装置，其形成于所述基板加工部；以及搬运部用粉尘飞散防止装置，其形成于所述基板搬运部，所述加工部用粉尘飞散防止装置具备：第一罩，其以隔开空间的方式覆盖所述基板加工部；以及减压机构，其始终对该第一罩内的空间进行减压，所述搬运部用粉尘飞散防止装置具备：第二罩，其以隔开空间的方式覆盖搬运来的基板的表面；以及加压机构，其始终对该第二罩内的空间进行加压。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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