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防静电装置以及具有该防静电装置的基板加工装置
| 专利名称： | 防静电装置以及具有该防静电装置的基板加工装置 |
| 摘要： | 本发明提供能够防止粉尘飞溅地附着在基板从而获得品质优异的产品的防静电装置以及具有该防静电装置的基板加工装置。所述防静电装置采用具有以隔开空间的方式覆盖非加工基板(W)的表面的罩(14、16)、和设置在该罩(14、16)内的电离器(20)的结构，通过该电离器(20)，能够防止非加工基板(W)的带电、进入到罩(14、16)内部的粉尘的带电而防止粉尘附着在基板表面，并且通过将电离器(20)设置在密闭的罩(14、16)内，能够谋求去除静电的高效化。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 三星钻石工业株式会社 |
| 发明人： | 上野勉;高松生芳;西尾仁孝 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810810614.4 |
| 公开号： | CN109318384A |
| 代理机构： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 |
| 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 日本大阪府 |
| 主权项： | 1.一种防静电装置，其防止基板加工装置中的非加工基板、粉尘的带电，所述防静电装置包括：罩，其以隔开空间的方式覆盖非加工基板的表面，以及电离器，其设置在所述罩内。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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