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一种声学微质量传感器及检测方法
| 专利名称： | 一种声学微质量传感器及检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种声学微质量传感器及检测方法，所述声学微质量传感器包括：用于产生谐振频率的谐振器；承载谐振器振动模式的基片；在所述谐振器的下表面按照预设规律设置有用于通过逆压电效应来激励谐振器的两个简并谐振模式的压电薄膜；在所述谐振器中心区域设置有用于将所述谐振器中产生的简并谐振模式的能量限制在中心台阶区域的凸起的薄台阶；在所述谐振器表面等间隔设置有用于吸附待检测物质并引起谐振频率移动的功能化敏感膜。本发明通过电磁超声换能器非接触式激励谐振器的振动模式或者在谐振器表面镀上压电薄膜材料并利用其逆压电效应来激励谐振器的振动模式，快速、准确实现对待检测物质的检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳大学 |
| 发明人： | 付琛;罗景庭;胡终须 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811115593.0 |
| 公开号： | CN109374729A |
| 代理机构： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 |
| 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 分类号： | G01N29/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29 |
| 申请人地址： | 518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |
| 主权项： | 1.一种声学微质量传感器，其特征在于，所述声学微质量传感器包括：用于产生谐振频率的谐振器；承载谐振器振动模式的基片；在所述谐振器的下表面按照预设规律设置有用于通过逆压电效应来激励谐振器的两个简并谐振模式的压电薄膜；在所述谐振器中心区域设置有用于将所述谐振器中产生的简并谐振模式的能量限制在中心台阶区域的凸起的薄台阶；在所述谐振器表面等间隔设置有用于吸附待检测物质并引起谐振频率移动的功能化敏感膜。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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