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原文传递一种超高真空加热装置及其加热方法

专利名称：	一种超高真空加热装置及其加热方法
摘要：	本发明涉及一种超高真空加热装置及其加热方法，其具有可与磁力杆相连接的衔接头，可通过衔接头将整个样品台传出和传入超高真空系统；具有可放置样品的样品插槽，可通过样品插槽实现样品与加热样品台的同时移动；具有直流加热电刷系统，结合特定样品架，直流加热电刷可实现直流电在样品上的定向传输；具有定位导电插孔，通过该插孔插入腔体内安置好的定位插头，既可实现样品台的定位，又可实现与腔体外电路的连接，从而实现不破坏真空的直流电加热；加热台具有中心镂空结构，结合特定样品架，使用红外激光加热器可实现样品激光加热。本发明在保持超高真空环境的同时可实现对样品良好的加热能力，加热速度快，温度高，温度梯度小，测温准确。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	中国科学技术大学
发明人：	吴金蓉;单欢;毛亚会;赵爱迪
专利状态：	有效
申请号：	CN201811160088.8
公开号：	CN109444331A
代理机构：	南京理工大学专利中心 32203
代理人：	张祥
分类号：	G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	230026 安徽省合肥市金寨路96号
主权项：	1.一种超高真空加热装置，包括样品架(1)、加热样品台(2)和腔内定位导电柱(3)，所述样品架(1)能够与加热样品台(2)接合，所述加热样品台(2)能够与腔内定位导电柱(3)接合，其特征在于，所述加热样品台(2)包括衔接头(2‑1)、样品台主体(2‑2)、样品插槽(2‑3)、直流电刷系统(2‑4)、定位导电插孔(2‑5)以及设置于样品台主体(2‑2)后端面上的一连接孔(2‑17)，所述衔接头(2‑1)与样品台主体(2‑2)的前端固定连接，所述样品插槽(2‑3)固定于样品台主体(2‑2)的中部，所述直流电刷系统(2‑4)包括电刷(2‑12)、直流电刷系统螺杆(2‑13)、绝缘陶瓷片(2‑14)、紧固螺母(2‑15)与银导线(2‑16)，所述直流电刷系统螺杆(2‑13)的底端穿过所述样品插槽(2‑3)和样品台主体(2‑2)并固定，所述电刷(2‑12)穿过直流电刷系统螺杆(2‑13)并通过绝缘陶瓷片(2‑14)和紧固螺母(2‑15)固定于直流电刷系统螺杆(2‑13)的上端位置，所述定位导电插孔(2‑5)包括第一定位导电插孔(2‑5‑1)和第二定位导电插孔(2‑5‑2)，第一定位导电插孔(2‑5‑1)和第二定位导电插孔(2‑5‑2)分别使用陶瓷胶同心固定于样品台主体(2‑2)后侧的两个通孔里，所述银导线(2‑16)包括第一银导线(2‑16‑1)和第二银导线(2‑16‑2)，第一银导线(2‑16‑1)连接第一定位导电插孔(2‑5‑1)和被绝缘于直流电刷系统螺杆(2‑13)的电刷(2‑12)，第二银导线(2‑16‑2)连接第二定位导电插孔(2‑5‑2)和样品台主体(2‑2)，所述腔内定位导电柱(3)包括真空电极(3‑1)、支撑杆(3‑2)、主定位柱(3‑3)、定位导电插头(3‑4)和导线(3‑5)，其中支撑杆(3‑2)包括一体连接的一较细圆柱段和一较粗圆柱段，所述较细圆柱段的一端焊接在真空电极(3‑1)的法兰盘上，另一端与较粗圆柱段一体连接，所述较粗圆柱段的端面上固定连接主定位柱(3‑3)，所述较粗圆柱段沿其轴向开设有两个通孔，所述定位导电插头(3‑4)通过陶瓷胶同心定位于所述两个通孔里从而使得定位导电插头(3‑4)与支撑杆(3‑2)绝缘，两根导线(3‑5)的一端分别与真空电极(3‑1)连接，另一端分别与定位导电插头(3‑4)连接。
所属类别：	发明专利