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一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法
| 专利名称： | 一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、遮挡式环形光发生器、分光棱镜和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，最终入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用遮挡式环形光发生器生成环形光，采用环形光束照明样品，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，装置简单易于实现，适用于亚表面无损检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 黑龙江;23 |
| 申请人： | 哈尔滨工业大学 |
| 发明人： | 刘俭;刘婧;王宇航;刘辰光;谭久彬 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811497522.1 |
| 公开号： | CN109470711A |
| 代理机构： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 |
| 代理人： | 李冉 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
| 主权项： | 1.一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置，其特征在于，包括：照明系统和探测系统；所述照明系统包括点光源(1)、准直镜(2)、遮挡式环形光发生器(3)、分光棱镜(4)和物镜(5)；所述遮挡式环形光发生器(3)中心被遮挡；所述点光源(1)发出的光线依次经过所述准直镜(2)、所述遮挡式环形光发生器(3)和分光棱镜(4)，所述分光棱镜(4)产生分光棱镜反射光和透射光，所述透射光透射至所述物镜(5)，最终光线聚焦至待测样品(6)上；所述探测系统包括物镜(5)、分光棱镜(4)、探测互补光阑(7)、收集透镜(8)、探测针孔(9)、光电探测器(10)；其中所述照明系统和探测系统共用分光棱镜(4)和物镜(5)；所述分光棱镜反射光入射至所述探测互补光阑(7)；所述待测样品(6)上产生样品反射光和散射光，所述样品反射光和所述散射光依次经所述物镜(5)、所述分光棱镜(4)、所述探测互补光阑(7)、所述收集透镜(8)和所述探测针孔(9)入射至所述光电探测器(10)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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