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原文传递一种单晶硅棒加工装置

专利名称：	一种单晶硅棒加工装置
摘要：	本发明公开了一种单晶硅棒加工装置，包括滚轮支撑机构、装夹机构及线锯运行机构；滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；装夹机构包括第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；第一定位及取片机构包括真空吸盘，真空吸盘位于滚轮支撑机构上方；夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；第一轴向移动驱动机构用于驱动夹爪机构轴向移动；第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，第二轴向移动驱动机构用于驱动支撑机构轴向移动；线锯运行机构设置包括第一线锯切割机构。本发明具有加工精度高的优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福州天瑞线锯科技有限公司
发明人：	朱文志;李波;汤文博;蓝碧峰;范舒彬;林孝狮;黄田玉;林光展
专利状态：	有效
申请号：	CN201811599880.3
公开号：	CN109483749A
代理机构：	福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：	林祥翔;张忠波
分类号：	B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	350100 福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
主权项：	1.一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，包括滚轮支撑机构、装夹机构及线锯运行机构；所述滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，所述第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；所述装夹机构包括第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；所述第一定位及取片机构包括真空吸盘，所述真空吸盘位于滚轮支撑机构上方，且位于夹持机构的一侧处，用于吸紧单晶硅棒的端面；所述夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；所述夹爪机构用于夹持单晶硅棒；所述第一轴向移动驱动机构与夹爪机构连接，用于驱动夹爪机构沿着滚轮支撑机构轴向移动；所述第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，所述支撑机构设置于第一定位及取片机构和夹持机构之间，用于支撑单晶硅棒的端部；所述第二轴向移动驱动机构与支撑机构连接，用于驱动支撑机构轴向移动；所述线锯运行机构设置包括第一线锯切割机构，所述第一线锯切割机构可上下移动地设置于滚轮支撑机构上方，用于切割单晶硅棒。
所属类别：	发明专利